MC方案｜在大面積上表征薄膜厚度均勻性

通過白光反射光譜（WLRS）和FR映射器繪制薄膜厚度              

目標：在大面積上表征薄膜厚度均勻性。

測量方法：采用Fr-Basic與Fr-Mapper相結合的方法，在大面積的預定點上快速、準確地測量薄膜厚度。當樣品固定在一個Fr-Mapper上時，所有的測量都用一個Fr-Basic進行調節，使其在540-1000納米的光譜范圍內工作。反射探頭的有效光斑直徑為0.5毫米。樣品是涂有SiO2（熱的或TEOS）和Si3N4（LPCVD）/SiO2（熱的）4英寸硅晶片。在參考測量中，使用了高反射鍍鋁鏡（NT01-913-533，Edmund光學）。

結果：在圖1中，顯示了硅晶片（藍色）上的掃描區域（紅色）。有意地將6x6cm2掃描區域的中心向左下角移動。圖2a顯示了Teos SiO2的厚度值。在兩個軸上以2毫米的步幅測量薄膜厚度（總共961次測量）。計算平均厚度為635.07nm，標準差為4.24nm。小厚度為623.13nm，大厚度為641.35nm。在圖2b中，顯示了相同掃描區域熱生長SiO2（濕氧化）的膜厚值。在兩個軸上以2毫米的步幅測量厚度（總共961次測量）。平均厚度為697.29nm，標準差為0.93nm。小厚度為697.22nm，大厚度為701.32nm。熱生長SiO2的薄膜厚度變化明顯較小，而且薄膜厚度梯度呈現徑向對稱性，而Teos薄膜則并非如此。圖3顯示了Si3N4/SiO2疊層中的膜厚值。

結論：Fr-Mapper與Fr-Basic連接，在單層和多層膜厚測繪中取得了成功。

Fr-Basic