NXQ4006光刻機工作過程詳細介紹

　　NXQ4006光刻機工作過程詳細介紹
　　
　　1.打開NXQ4006光刻機電源開關，（右表板上標有“電源”字的開關），燈亮，氣壓表顯示數值。
　　
　　此時檢查左表板上的“系統真空”表，看是否保持真空度≥-0.07MPa以上，否則要檢查漏氣原因并消除之。
　　
　　2.打開汞燈電源（左表板上標有“汞燈”字樣的開關），指示燈亮。
　　
　　此時觀察電流表指針，直到指到4A左右，說明汞燈已點燃。
　　
　　zui少要15分鐘以后，汞燈亮度才能穩定，操作者才能進行以下工作。
　　
　　3.調節NXQ4006光刻機氣壓（左表板）
　　
　　觀察進氣壓力，是否≥0.3Mpa，然后調節“給定壓力”=0.1kg/cm2。
　　
　　4.“真空吸版”
　　
　　將版放到版夾盤上，按“真空吸版”開關（面板上標有“吸版”字樣的開關），指示燈亮。版被吸牢。如果“系統真空表”因這一動作而掉表，應查明原因，是否版不平，或者版和版夾盤上有雜物。
　　
　　5.“真空吸片”
　　
　　檢查承片臺表面是否清潔，放上片，按“真空吸片”開關，（面板上標有“吸片”字的開關）燈亮，片被吸牢。
　　
　　如果片的底面不平，片不規則（如碎片）等，片的吸牢程度降低，而且“系統真空表”有掉表現象，如果嚴重，將影響吸片牢度。
　　
　　6.NXQ4006光刻機承片臺上升并使片頂版。
　　
　　承片臺上升時，按“氣浮”鍵（面板上標有“氣浮”字的開關）燈亮，不放手直到頂升壓力回復到設計壓力。此時，操作者觀察氣浮壓力數顯表，是否到預設壓力。如果到預設壓力，說明版、片已找平。停止頂版，并放手“氣浮”鍵，半球由“氣浮”狀態變成“真空吸球”狀態。