NXQ4006光刻機(jī)在使用操作過程中的注意事項(xiàng)

　　NXQ4006光刻機(jī)的工作原理是通過一系列的光源能量、形狀控制手段，將光束透射過畫著線路圖的掩模，經(jīng)物鏡補(bǔ)償各種光學(xué)誤差，將線路圖成比例縮小后映射到硅片上。然后使用化學(xué)方法顯影，得到刻在硅片上的電路圖。一般的光刻工藝要經(jīng)歷硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻膠、軟烘、對(duì)準(zhǔn)曝光、后烘、顯影、硬烘、激光刻蝕等工序。

　　NXQ4006光刻機(jī)在操作中應(yīng)該要注意以下幾點(diǎn)：

　　1、進(jìn)入機(jī)倉檢查或維修必須切斷電源，掛上警示牌并與中控。

　　2、檢修或檢查時(shí)必須使用36V以下照明。

　　3、必須經(jīng)常監(jiān)視機(jī)器運(yùn)轉(zhuǎn)情況，如聽任何不正常聲音，應(yīng)立即停機(jī)檢查，查明原因并處理完故障后，方可重新起動(dòng)。

　　4、正常運(yùn)轉(zhuǎn)中，應(yīng)特別注意電機(jī)和轉(zhuǎn)子的溫度變化，保證充足的油潤滑、水冷卻，超過規(guī)定值立即停機(jī)檢查。

　　5、運(yùn)行時(shí)，不準(zhǔn)打開觀察孔，以防物料飛出傷人。

　　6、每周應(yīng)檢查一次轉(zhuǎn)子卡箍螺栓的松緊情況。

　　7、每天開機(jī)前應(yīng)檢查襯板螺絲是否松動(dòng)并緊固。

　　NXQ4006光刻機(jī)在使用的時(shí)候要注意：

　　1、請(qǐng)?jiān)陂_啟之前對(duì)每個(gè)部位的螺絲進(jìn)行檢查防止其在運(yùn)行過程中螺絲松動(dòng)造成部件損壞。

　　2、請(qǐng)?jiān)陂_機(jī)前對(duì)運(yùn)動(dòng)部位進(jìn)行加油,目的使其在運(yùn)動(dòng)中得到很好的潤滑,從而延長了使用壽命。

　　3、請(qǐng)?jiān)陂_啟之前先手動(dòng)送簽。