手動探針臺 P300J電動手動探針臺：電動手動探針臺，300mm，-55到300℃ P300A半自動探針臺：專為低電流、亞微米定位應(yīng)用而設(shè)計，300mm，-55到300℃

電動手動探針臺 P300J電動手動探針臺：電動手動探針臺，300mm，-55到300℃ P300A半自動探針臺：專為低電流、亞微米定位應(yīng)用而設(shè)計，300mm，-55到300℃

P200L半自動探針臺：半自動探針臺，200mm，-65到400℃， P300L半自動探針臺：半自動探針臺，300mm，-55到300℃

2210-LS 通用探針臺：通用型探針臺，室溫可達(dá)24寸，高溫或低溫可達(dá)18英寸，300mm以下晶圓，溫度-400到125℃

SPS-1000，SPS-2000和SPS-2200系統(tǒng)是MicroXact首要的手動探針臺，設(shè)計靈活且易于使用。這些手動探針系統(tǒng)的高性能和經(jīng)濟性使它們屬于自己的一類。憑借高達(dá)200mm的晶圓功能，DC或RF探頭和可選的熱卡盤以及各種屏蔽選項，我們的探針臺可用于廣泛的應(yīng)用，例如故障分析，可靠性測試，IV / CV測試，低目前的測試，微波和射頻表征等等。

隨著半導(dǎo)體變得越來越小和越來越復(fù)雜，有必要更密切地監(jiān)控和控制生產(chǎn)，特別是在該過程的更上游。使用MicroXact的半自動探針臺進(jìn)行的晶圓級可靠性測試通過一系列壓力測試收集數(shù)據(jù)，以識別可能影響器件長期可靠性的不規(guī)則性。盡管并非總是需要，但在晶片級可靠性測試之后可以進(jìn)行進(jìn)一步的和廣泛的故障分析。 系統(tǒng)構(gòu)建在一個重型，通用的平臺上，能夠配置為處理各種探測應(yīng)用。