顯影機

簡要描述：UNIXX S 30 D 顯影機是應(yīng)用于顯影工藝的設(shè)備，適用的基板尺寸為2英寸到12英寸的
圓片和最大到9英寸x9英寸的方片。新設(shè)計的三片式可拆卸工藝腔體可實現(xiàn)良好的工藝
均勻性和重復(fù)性，設(shè)備也可用于清洗和旋干工藝。
UNIXX S 30 D的落地式柜體經(jīng)專門設(shè)計，方便操作和維修。它是一款手動顯影機，適
用于實驗室開展科學(xué)研究和技術(shù)開發(fā)。設(shè)備具有多選項（例如可編程流體輸送臂）并且
可以升級成自動化

產(chǎn)品型號：UNIXX S 30 D
廠商性質(zhì)：代理商
更新時間：2025-07-02
訪問量：3828

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濕法刻蝕顯影清洗系統(tǒng)

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詳細介紹

特點

可處理基板尺寸最大9"x 9" (230 x 230mm) 方片或 ? 12" (? 300mm)圓片

采用真空或微接觸夾具針對圓形和方形基板

不同尺寸的圓片/方形片的夾具可容易更換

真空安全聯(lián)鎖功能

觸摸屏輸入顯示啟動、停止及真空操作按鈕

可編程速度和加速度馬達轉(zhuǎn)速最大可達8000轉(zhuǎn)/分鐘

易拆卸雙片腔體本體和防濺環(huán)

網(wǎng)絡(luò)接口

USB接口

選項

? 電子流體輸送手臂--移動速度和位置可編程

? 液體噴嘴 – 噴霧型,射流型

? 熱流體線，最高80°C

? 真空或微接觸夾具 – 不同尺寸

? 可拆卸工藝腔體及防濺環(huán)

? 熱板

? 熱板接近式烘烤, 手動可調(diào)接近距離 ? 可編程接近距離熱板

? 真空泵

? 附加HMDS熱板

性能參數(shù)

觸摸屏程序輸入

? 程序數(shù): 100

? 程序步數(shù): 50

? 最長單步時間: 999秒

? 單步時間分辨率: 0.1秒

旋轉(zhuǎn)馬達

? 旋轉(zhuǎn)速度: 最高 8.000 轉(zhuǎn)/分鐘*

? 轉(zhuǎn)速分辨率: 1轉(zhuǎn)/分鐘

? 旋轉(zhuǎn)精度: ± 2 轉(zhuǎn)/分鐘

? 加速度: 最高 50,000 轉(zhuǎn)/分鐘/秒* *和基片重量有關(guān)

熱板

?溫度范圍: 最高 300°C

?溫度分辨率: 0.1°C

? 溫度均勻性( 100°C 時) : < ± 0.5°C 動力需求

?電源: 3x208 VAC / 60 Hz / 16 A or 3x400VAC / 50 Hz / 16 A

? 壓縮空氣: 8 ± 2 bar (116 ± 29 PSI), Tube OD ?8mm

? 真空: -0.8 bar ± 0.2 bar / 24 in Hg, Tube OD ?8mm

? N氮氣 (選項): 4,0 ± 0,5 bar (58 ± 7 PSI), Tube OD ?6mm

設(shè)備外形(寬 x 深 x 高):

?落地式柜體: 約 1200mm x 650mm x 1320mm (23.6"x 25.6"x 52")

?帶水平調(diào)節(jié)

?不銹鋼框架

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