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    當前位置:首頁   >  產品中心  >  等離子清洗機  >  STAR系列等離子清洗機  >  PlasmaStar 200/200 RIE等離子刻蝕機

    等離子刻蝕機

    簡要描述:PlasmaSTAR®模塊化腔室和電極組件是該系統的*功能。 腔室材料是硬質陽極氧化鋁, 有幾種不同的電極設計,包括用于反應離子刻蝕(RIE)和平面處理的水冷平板電極,用于表面清洗或處理的交替多層托盤電極,用于小化離子損傷的下游電極,和用于普通的圓柱形籠式電極。

    • 產品型號:PlasmaStar 200/200 RIE
    • 廠商性質:代理商
    • 更新時間:2025-07-01
    • 訪  問  量:7266

    詳細介紹

    型號: 反應離子刻蝕機PlasmaStar 200/200RIE

    產地: 美國

    品牌: Axic

    環球供應,本地服務!MYCRO專業為您提供實驗室RIE反應離子刻蝕機設備,*的技術服務及售后,MYCRO值得您的的信賴!

    技術規格:

    型號

    PlasmaStar  100

    PlasmaStar

    100RIE

    PlasmaStar 200

    PlasmaStar 200RIE

    艙體尺寸

    直徑254×深度356mm

    直徑200×深度280mm

    305×高305×深406mm

    305 ×高200×深406mm

    艙體材質

    標配為陽極氧化鋁艙體

    常用氣體

    空氣,氧氣,氫氣,氬氣,氮氣,CF4,SF6等和其他混合氣體

    氣路控制

    標配2MFC,PlasmaStar  100多可選配4路,

    標配2MFCPlasmaStar  200多可選配5路;

    控制系統

    電阻觸摸屏操作界面

    程序控制

    PC觸屏控制,可編程序,無線存儲數據

    射頻頻率

    13.56 MHz

    射頻功率

    0~600W瓦之間距連續可調,自動匹配

    0~1000W瓦之間距連續可調,自動匹配

    電極設計

    標準圓柱形籠式電極;

    標準圓柱形籠式電極;

    可選交替多層托盤電極;

    可選RIE平面處理水冷平板電極

    設備尺寸

     800 x 850 x 525mm;

    1033 x 850 x 635mm

     

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