TergeoPro等離子系統可處理8英寸基片清洗機的應用類似于較小的 Tergeo 等離子系統，不同之處在于它可以接受更大的樣品。

遠程等離子清潔的原理 遠程等離子源需安裝在要被清潔的真空腔室上，控制器向遠程離子源提供射頻能量。射頻電磁場能激發等離子體，分解輸入氣體而產生氧或氫的活性基，活性基會擴散到下游的真空腔室，并與其中的污染物發生化學反應，反應產物能輕易地被抽走。遠程等離子清洗機可同時清潔真空系統和樣品。

美國PIE出品的EM遠程等離子清潔儀，廣泛用于SEM掃描電鏡,FIB聚焦離子束雙束電鏡,TEM透射電鏡,XPS_X射線光電子能譜分析儀,ALD原子層沉積系統,CD-SEM, EBR, EBI, EUVL和其它高真空系統，可同時清潔真空腔室和樣品！

品牌：PIE 型號：Tergeo EM Tergeo EM型樣品桿清潔等離子清潔儀 *的雙清洗模式（immersion和downstream）能夠處理各種不同的樣品，從嚴重污染的電子光學孔徑光闌到各種脆弱易損樣品，如石墨烯、碳納米管、類金剛石碳膜以及多孔碳支持膜銅網上的TEM樣品。石英樣品托板上的孔洞可以安裝標準SEM樣品托。特別設計的適配器可以清潔不同廠家的TEM樣品桿。

專為去除SEM & TEM樣品的碳氫污染而設計。*的雙清洗模式（immersion和downstream）能夠處理各種不同的樣品，從嚴重污染的電子光學孔徑光闌到各種脆弱

Tergeo EM型SEM及TEM樣品/樣品桿清潔等離子清潔儀 美國PIE Scientific專注研發*實驗室用等離子儀器，用于SEM/TEM樣品清潔、光刻膠蝕刻、等離子體增強沉積、表面處理與活化。我們的宗旨是：將半導體和核工程研究中開發的等離子技術集成到經濟實用的實驗室用等離子儀器。