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鄭州科探儀器設備有限公司
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流量計數量：5個，（根據客戶需求標定 氣體 量程 進氣口和出氣口） 氣體環境密封 6探針真空探針臺測試腔流量規格：500 ml/min精準度：#177;1.0% S.P.（≥30% F.S.）#177;0.30% F.S.（＜30% F.S.）重復精度：#177;0.2% F.S響應時間：≤1 s密封形式：金屬密封接頭尺寸：6 mm漏率：＜1#215;10-8 Pa#183;m3/s通訊接......
1、氣體環境密封 6探針真空探針臺測試腔
測試夾具要求：可實現XYZ移動；
測試腔：同時滿足靜態/動態測試，304不銹鋼材質，可在紫外燈下保證氣密性測試；
測試樣品數：同時測試8個樣品，可進行頻率-阻抗測試、插指電極和場效應管測試；
測量溫度：室溫---300 ℃
控溫精度：±1 ℃
顯示精度：±0.1 ℃
測溫傳感器：PT100
升溫斜率：1-10 ℃/min
通訊類型：RS485
加熱功率：500 W
測試腔容積<2 L
2、氣體環境密封 6探針真空探針臺測試腔
流量計數量：5個，（根據客戶需求標定 氣體 量程 進氣口和出氣口）
流量規格：500 ml/min
精準度：±1.0% S.P.(≥30% F.S.)±0.30% F.S.(＜30% F.S.)
重復精度：±0.2% F.S
響應時間：≤1 s
密封形式：金屬密封
探針臺主要應用于半導體行業、光電行業、集成電路以及封裝的測試。廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發，旨在確保質量及可靠性，并縮減研發時間和器件制造工藝的成本
該探針臺的承片臺X/Y/Z三個方向均可在真空環境下調節，其中X方向調節范圍：0－30mm；y方向調節范圍：0－13mm；z方向調節范圍：0－13mm；用戶可根據需要自行調節。使用時將需檢測的器件固定在加熱臺上，再微調探針支架X/Y/Z 方向行程，通過顯微鏡觀察，使探針對準檢測點后，即可進行檢測。
接頭尺寸：6 mm
漏率：＜1×10-8 Pa·m3/s
通訊接口：RS485
4、樣品12*10mm，探針可移動范圍x-y 1-10mm，z軸
5、每個樣品上方一個紫外燈，四個燈連成燈串外置一個可控開關。紫外燈可更換，樣品上方2cm。
6、加熱板上有個鍍金襯底，用來連接柵極。
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