X射線分析顯微鏡

概要

　　一代的X射線熒光分析顯微鏡XGT-7000開創了科學分析的新時代。它將光學圖像與元素分析地結合，為科研工作者的研究和分析提供了新的分析手段。

　　SDD檢測器保證了高速、高精度元素面掃描；高能量分辨率，高計數率的測量，且無需液氮。

　　雙真空式設計確保用戶可以在幾秒鐘內完成樣品室內部氛圍的切換（大氣或真空）。即使測量含水樣品、生物樣品時也可以保證測量所有元素的高靈敏度。

　　獨特的硬件設計確保了XGT-7000操作的靈活性和廣泛的應用范圍。通過軟件控制x射線導管在10 μm和1.2 mm間切換，以保證獲得測量條件，無論是微觀到宏觀。

　　與x射線導管同軸的CCD相機，可以迅速、精確地定位感興趣區域。

·單點及多點自動分析

　　單點和自動多點分析功能使得無論是從單個分析位置或是用戶定義的一系列位置上均可以獲得高質量的譜圖。可自動標注元素譜峰。使用基本參數法或單標樣基本參數法或是標準樣品校正曲線法定量計算，可測量ppm級的含量。膜厚分析軟件可以分析nm級或μm級樣品的多層膜厚。

·高光譜面掃描

　　SmartMap軟件在每個像素點采集元素譜圖。采集結束后，用戶可以根據自己的分析，添加或刪除某個元素面分布圖，實現已有數據實現脫機分析。

　　X射線透射圖像有利于用戶觀察樣品內部構造，實現真正的無損內部觀測。

特征

　　有著諸多創新的XGT-7200在眾多領域有著廣泛的應用：電子電器、發動機磨損分析、法醫科學、地質礦物、醫藥、博物館、冶金、生物等。XGT-7200的靈活設計，保證用戶通過簡易的操作即可獲得高質量的分析結果，無論是分析大區域，還是對微區細節分析，或是同時采集X射線熒光圖像和X射線透過像。

*的空間分辨率

　　HORIBA獨特的X射線光管技術提供高空間分辨率微區XRF分析，X射線光斑直徑小到10微米。這種強度的超細光斑，可進行快速無損的微細結構分析。

*X射線透過像

　　同時采集XRF圖像和X射線透過像的功能，可以用來分析無法用肉眼觀察到的樣品內部構造和元素組成。采用超細垂直的X射線束，即使觀察不平坦樣品也可以獲得清晰的內部圖像。

*雙真空模式

　　無二的雙真空模式設計- 彼此間的切換在數秒內即可完成。

　　全真空模式，整個樣品室處于真空氛圍以保證輕元素分析的高靈敏度。

　　局部真空模式，樣品處于大氣氛圍中，適宜于含水樣品的分析，如生物組織、文物碎片和館藏文物等。

*完整地分析整個樣品

*整合數據采集和分析的操作軟件

　　界面友好的操作軟件允許用戶方便的控制硬件、選擇測量區域和全數據分析。功能包括：自動標定譜峰、定性定量測量、RGB圖像合成，線分析等。大尺寸的樣品室使得分析整個樣品成為可能，用10微米束斑可以分析微小區域甚至到測量大至10cm x 10cm的區域。

技術參數：

測量元素：

　　Na~U

X射線管：

　　銠（Rh）靶 /管電壓 50 kV / 管電流 1 mA

X射線熒光檢測器：

　　SDD硅漂移檢測器

透過X射線檢測器：

　　NaI（Ti）晶體

X射線導管：

　　單毛細管 10μm / 100μm 無濾光片

光學圖像：

　　樣品整體光學像及共軸放大圖像

樣品臺尺寸：

　　XY：100mm×100mm

樣品倉：

　　全真空模式/ 真空 300mm×300mm×80mm

信號處理：

　　數值脈沖處理器（INCA處理器 ）

定性分析：

　　自動定義譜峰/ KLM線標注/ 譜峰查找/ 譜峰匹配

定量分析：

　　無標樣基本參數法/ 標準無標樣基本參數法/ 標準文件匹配基本參數法/ 校正曲線/ 多層膜基本參數法/ 多點分析（最多5000）/ 多點結果輸出至Excel®

面掃描功能：

　　透過X射線像/ 元素面分布圖/ 譜圖面掃描 /矩形面掃描/ 生成譜圖/ RGB合成/ 標尺/ 線分析

其它功能：

　　可同時開啟XGT-5200操作軟件