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美國KemLab負性光刻膠 PKP-308PI 具有改進的分辨率、附著力、耐蝕刻性、低針孔密度,是負性光刻膠中綜合性能最佳的選擇。在使用過程中無需對光刻膠進行膜過濾。可實現微米級別的分辨率,且在生產中光刻膠工藝能保持高度可重復性。
美國KemLab負性光刻膠 HARE SOTM是一種基于環氧樹脂的負型光阻,專為聚合物MEMS、微流體、微機械加工以及其他微電子應用而設計。
美國KemLab正性光刻膠 KLT 5300是一種專為i-Line、g-Line和寬帶應用優化的正型光阻。KLT 5300具有高靈敏度和高吞吐量,適用于集成電路制造。
KemLab 正性光刻膠 KLT 6000 ,適用于 i-Line、寬帶或 g-Line 曝光。
EM Resist SU-8負性抗蝕劑產品,非常適合半導體應用。我們的產品有各種形式和厚度范圍。 典型的SU-8過程包括以下步驟: 基板準備 旋涂 松弛時間以提高表面均勻度 軟烤 曝光后烘烤 發展歷程 沖洗并干燥 可選硬烤